Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2013.05a
/
Pages.651-652
/
2013
/
2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Application of Optic Simulation for Semiconductor Wafer Inspection

광학 시뮬레이션 기술을 이용한 반도체 결함 검사 조건 최적화

이창훈 (삼성전자 공과대학교 반도체공학과) ;
정용덕 (삼성전자 메모리계측기술그룹) ;
이슬기 (삼성전자 메모리계측기술그룹) ;
김영완 (삼성전자 공과대학교) ;
전충삼 (삼성전자 메모리계측기술그룹)

Published : 2013.05.29

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords