한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.151-152
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- 2013
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- 2005-8446(pISSN)
레이저 습식 후면 에칭과 초음파의 복합공정을 통한 유리 관통 가공
Glass Drilling through Laser-induced Backside Wet Etching with Ultrasonic Vibration
- 발행 : 2013.05.29