Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2013.05a
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  • Pages.151-152
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  • 2013
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Glass Drilling through Laser-induced Backside Wet Etching with Ultrasonic Vibration

레이저 습식 후면 에칭과 초음파의 복합공정을 통한 유리 관통 가공

  • 박민수 (서울과학기술대학교 기계시스템디자인공학과) ;
  • 김혜미 (서울과학기술대학교 기계시스템디자인공학과)
  • Published : 2013.05.29
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Abstract

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