Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

EBA Technology를 이용한 양산형 Cold Annealing System

  • 김용환 ((주)인포비온 디스플레이 기술연구소)
  • Published : 2013.02.18
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Abstract

Kinetic energy를 가진 입자의 물리적 충돌을 이용하여 기판의 가열 없이 박막 표면만을 열처리할 수 있는 EBA technology는 차세대 첨단 기술로 활용될 무수한 잠재력이 있다. (주)인포비온에서는 EBA source를 이용한 다양한 응용을 연구했으며 또한 이의 결과를 산업적 양산에 이용하고자 EBA source를 적용한 대형 시스템을 개발했다. 이에 EBA technology의 소개와 이를 활용한 연구 결과, 양산형 시스템 등을 소개하고자 한다.

Keywords