Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2012.10a
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  • Pages.303-304
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  • 2012
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

A Study of Electromagnetic field for Motor-driven applied to the 5-axis Stage in Vacuum

진공용 5축 스테이지의 구동부 전자기장에 관한 연구

  • 정종규 (국민대학교 기계설계학과) ;
  • 원종진 (국민대학교 기계시스템공학부) ;
  • 정재일 (국민대학교 기계시스템공학부)
  • Published : 2012.10.24
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Abstract

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