Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2012.10a
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Pages.35-36
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2012
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

A Study on the Cu CMP Characteristics of diluted Mixed Abrasive Slurry

희석된 혼합연마 슬러리의 Cu CMP 특성에 관한 연구

이영균 (부산대학교 기계공학부) ;
박영봉 (부산대학교 기계공학부) ;
신운기 (부산대학교 기계공학부) ;
이호준 (부산대학교 기계공학부) ;
이창석 (부산대학교 기계공학부) ;
김성수 (부산대학교 기계공학부) ;
서용진 (세한대학교 나노정보소재연구소) ;
정해도 (부산대학교 기계공학부)

Published : 2012.10.24

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Abstract

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