Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2012.08a
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- Pages.349-349
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- 2012
Base Inhibitor와 Triblock Copolymer를 이용한 고전도도 Poly (3,4-ethylenedioxythiophene)박막의 제작
- Choi, Sang-Il (Department of Nano-Polymer Materials Engineering, Pai Chai University) ;
- Feng, Ma (Department of Nano-Polymer Materials Engineering, Pai Chai University) ;
- Kim, Sung-Soo (Department of Nano-Polymer Materials Engineering, Pai Chai University)
- Published : 2012.08.20
Abstract
산화제를 이용 기상중합법을 통해 합성되는 고전도도 Poly (3,4-Ethylenedioxythiophene)(PEDOT) 박막은 OTFT, RFID tag, 또는 연성 디스플레이 같은 분야에 다양한 응용 가능성을 가지고 있으며 이로 인해 최근에 연구가 활발히 진행되고 있다. PEDOT박막의 전극소재로써 가능성은 박막의 중합 정도와 표면 형상에 크게 좌우된다. 특히, Si-웨이퍼 기판 위에 산화제의 균일한 도포 및 산화제 자체의 높은 산도 (