한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집
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- Pages.247-247
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- 2011
플라즈마 분자선 에피택시 법으로 다공질 실리콘에 성장한 ZnO 박막의 열처리 온도에 따른 구조적 및 광학적 특성
- 김민수 (인제대학교 나노메뉴팩쳐링연구소 나노시스템공학과) ;
- 임광국 (인제대학교 나노메뉴팩쳐링연구소 나노시스템공학과) ;
- 김소아람 (인제대학교 나노공학부) ;
- 남기웅 (인제대학교 나노공학부) ;
- 이동율 (삼성 LED R&D Team) ;
- 김진수 (전북대학교 신소재공학부) ;
- 김종수 (영남대학교 물리학과) ;
- 임재영 (인제대학교 나노메뉴팩쳐링연구소 나노시스템공학과)
- Kim, Min-Su ;
- Im, Gwang-Guk ;
- Kim, So-A-Ram ;
- Nam, Gi-Ung ;
- Lee, Dong-Yul ;
- Kim, Jin-Su ;
- Kim, Jong-Su ;
- Im, Jae-Yeong
- 발행 : 2011.08.17
초록
플라즈마 분자선 에피택시(plasma-assisted molecular beam epitaxy)법을 이용하여 다공질 실리콘(porous silicon)에 ZnO 박막을 성장하였다. 성장 후, 아르곤 분위기에서 10분 간 다양한 온도(500~700
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