Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2011.06a
/
Pages.263-264
/
2011
/
2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Analysis of Stress Non-uniformity on Sapphire wafer during Diamond Mechanical Polishing

다이아몬드 랩핑 공정에서 가압 위치 따른 사파이어 웨이퍼 표면 응력불균일도 해석

김도연 (한국생산기술연구원) ;
김형재 (한국생산기술연구원) ;
이태경 (한국생산기술연구원) ;
정해도 (부산대학교 기계공학부)

Published : 2011.06.01

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords