한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2010년도 춘계학술대회 논문집
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Pages.535-536
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2010
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

트랜지스터 문턱전압 측정을 통한 MOSFET 소자의 1 차원 Doping Profile 측정

Electrical Extraction of One Dimensional MOSFET Doping Profiles by Threshold Voltage Measurement

권석일 (성균관대학교) ;
최병덕 (성균관대학교) ;
박현호 (삼성전자) ;
정한욱 (성균관대학교) ;
기완욱 (성균관대학교)

발행 : 2010.05.26

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