한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2010년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.533-534
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- 2010
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- 2005-8446(pISSN)
Wet cleaning 공정 시 DI water 의 온도에 따른 BPSG 막질의 특성 변화에 대한 연구
Wet cleaning process, DI water at a temperature of According to the study of changes in the characteristics of BPSG membranous
- Jang, Jae-Kyu (SSIT) ;
- Lee, Alfredo ;
- Yun, Min-Sang ;
- An, Jung-Soo
- 발행 : 2010.05.26