Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

기체 속도 제어를 통한 MOCVD법을 이용한 $Bi_2Te_3$ 열전 필름 성장

  • 유현우 (한국과학기술연구원 재료연구본부 전자재료센터) ;
  • 정규호 (한국과학기술연구원 재료연구본부 전자재료센터) ;
  • 최원철 (한국과학기술연구원 재료연구본부 전자재료센터) ;
  • 김효정 (한국과학기술연구원 재료연구본부 전자재료센터) ;
  • 박찬 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 김진상 (한국과학기술연구원 재료연구본부 전자재료센터)
  • Published : 2010.06.16
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Abstract

본 연구에서는 개조된 MOCVD법을 이용하여 (100) GaAs 기판 위에 나노 구조 $Bi_2Te_3$ 열전 필름을 성장시켰다. 기존의 MOCVD법과 달리 서셉터의 모양을 변화시켜 기체상태에서 $Bi_2Te_3$ 나노파티클의 형성과 기판위에서 성장을 유도 하였다. 또한 서셉터의 노즐의 면적을 변화시켜 기체의 속도를 제어함에 따라 $Bi_2Te_3$ 필름을 형성시켰다. 서셉터의 모양의 변화에 따라 기체 상태에서 $Bi_2Te_3$ 나노파티클을 형성하고 이를 기판위에서 성장시켜 $Bi_2Te_3$ 열전 필름의 결정립계를 조절할 수 있었고, 또한 노즐의 면적의 변화에 따른 기체의 속도를 제어하여 $Bi_2Te_3$ 결정립계 및 결정 배향 방향을 조절 하였다. 본 연구결과에서는 MOCVD 반응관의 서셉터의 모양 및 노즐의 면적의 변화에 따라 결정립계 및 결정 성장방향이 조절될 수 있음을 확인하였고 이러한 변화에 따라 열전도도를 제어하여 열전성능지수의 향상을 기대 할 수 있다.

Keywords