한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

내장형 무선 카메라를 이용한 In-Line type 스퍼터링 시스템 내부의 실시간 모니터링

Real time monitoring of In-Line type sputtering system using an in-vacuo wireless camera

  • 최지성 (군산대학교 신소재공학과, 플라즈마 소재응용 센터) ;
  • 도우리 (군산대학교 신소재공학과, 플라즈마 소재응용 센터) ;
  • 홍광기 (군산대학교 신소재공학과, 플라즈마 소재응용 센터) ;
  • 주정훈 (군산대학교 신소재공학과, 플라즈마 소재응용 센터)
  • 발행 : 2009.10.14
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초록

진공 chamber 내부 plasma를 외부에서 view port를 통한 확인 및 촬영보다 효율을 높이기 위하여 chamber 내부에 무선 camera (IVC : internal vacuum camera)를 삽입하여 더 세밀하게 plasma를 촬영하였고 view port로 확인이 불가능한 부분을 촬영 및 녹화하였다. 외부 view port로 확인할 수 없는 원거리 플라즈마 소스 (remote plasma source, RPS)와 in-line type의 chamber에서 동적 (dynamic) 증착이 이루어지는 substrate에 camera를 부착하여 이동 중 target 위쪽에 방전된 plasma, ICP (inductively coupled plasma) antenna를 진공 중 chamber 내부에서 촬영 및 녹화하였다.

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