한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

PECVD를 이용한 가스비에 따른 SiNx Passivation 효과 실험

  • 허종규 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과 정보통신소자연구실) ;
  • 최형욱 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과 정보통신소자연구실) ;
  • 윤기찬 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과 정보통신소자연구실) ;
  • 이영석 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과 정보통신소자연구실) ;
  • 이준신 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과 정보통신소자연구실)
  • 발행 : 2009.02.11
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