Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.02a
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- Pages.267.2-267.2
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- 2009
신개념 알고리즘 OES(Optical Emission Spectroscopy)를 통한 Arcing 진단기술 연구
- Pyeon, Seung-Cheol ;
- Gwon, Jun-Hyeok (KAIST) ;
- Seong, Dae-Jin ;
- Kim, Jeong-Hyeong ;
- Yu, Sin-Jae ;
- Sin, Jae-Su ;
- Sin, Yong-Hyeon
- 편승철 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 권준혁 ;
- 성대진 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 김정형 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 유신재 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 신재수 (대전대학교 신소재공학과) ;
- 신용현 (한국표준과학연구원 진공센터)
- Published : 2009.02.11
Abstract
Keywords