Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

대면적 축전결합형 플라즈마원에서 도파관 모델을 이용한 플라즈마 특성 분포의 정상파 패턴 형성 해석

  • 이석환 (서울대학교 에너지시스템공학부) ;
  • 최명선 (서울대학교 에너지시스템공학부) ;
  • 김곤호 (서울대학교 에너지시스템공학부)
  • Published : 2009.02.11
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