유기물 자동 공급 시스템을 이용한 유기 박막 증착

  • 최범호 (한국생산기술연구원 호남권기술지원본부, 나노기술집적센터) ;
  • 김영미 (한국생산기술연구원 호남권기술지원본부, 나노기술집적센터) ;
  • 유하나 (한국생산기술연구원 호남권기술지원본부, 나노기술집적센터) ;
  • 김광영 (한국생산기술연구원 호남권기술지원본부, 나노기술집적센터) ;
  • 이종호 (한국생산기술연구원 호남권기술지원본부, 광응용부품지원센터) ;
  • 김종운 (선익시스템(주)) ;
  • 이재승 (선익시스템(주)) ;
  • 박영호 (선익시스템(주))
  • 발행 : 2009.02.11