한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

마그네트론 스퍼터링법에 의해 저온 증착된 ITO 및 IZO 박막에 대한 특성 연구

  • 정재혜 (기능박막 연구그룹, 융합공정연구부 한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 이성훈 (기능박막 연구그룹, 융합공정연구부 한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 윤정흠 (기능박막 연구그룹, 융합공정연구부 한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 이건환 (기능박막 연구그룹, 융합공정연구부 한국기계연구원 부설 재료연구소)
  • 발행 : 2009.02.11
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