Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

다결정 실리콘 박막내 불순물 주입영역에 따른 결정화 거동에 대한 연구

  • 김민선 (전자 부품연구원 디스플레이 부품 소재 센터) ;
  • 곽민기 (전자 부품연구원 디스플레이 부품 소재 센터) ;
  • 이찬재 (전자 부품연구원 디스플레이 부품 소재 센터) ;
  • 이정노 (전자 부품연구원 디스플레이 부품 소재 센터)
  • Published : 2009.08.19
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Abstract

Keywords