한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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- Pages.41-41
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- 2009
FTS 방법으로 증착한 플랙시블 기판의 Gas barrier 층으로 SiOxNy, SiOx, SiNx 다층박막의 특성
- 박용진 (대구가톨릭대학교, 전자디스플레이 공학과) ;
- 왕태현 (대구가톨릭대학교, 전자디스플레이 공학과) ;
- 김상헌 (대구가톨릭대학교, 전자디스플레이 공학과) ;
- 박정식 (대구가톨릭대학교, 전자디스플레이 공학과) ;
- 류성원 (대구가톨릭대학교, 전자디스플레이 공학과) ;
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홍재석
((주)CTC)
- Park, Yong-Jin (Department of Electronics Engineering, Catholic University of Daegu) ;
- Wang, Tae-Hyeon (Department of Electronics Engineering, Catholic University of Daegu) ;
- Kim, Sang-Heon (Department of Electronics Engineering, Catholic University of Daegu) ;
- Park, Jeong-Sik (Department of Electronics Engineering, Catholic University of Daegu) ;
- Ryu, Seong-Won (Department of Electronics Engineering, Catholic University of Daegu) ;
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Hong, Jae-Seok
- 발행 : 2009.06.18
초록
본 연구에서 사용한 대향 타겟식 스퍼터링(Facing Targets Sputtering) 법은 일반 스퍼터링 법의 단점을 보완한 고밀도 저온 고속성막이 가능한 장점을 가지고 있기 때문에 플랙시블 디스플레이의 기체 투과 방지막으로 많이 쓰이고 있는 SiOxNy, SiOx, SiNx의 박막을 다층으로 증착하여 polymer 기판 위에 조건에 따라 증착 후 박막의 특성을 연구하였다. 제작된 박막의 광학적 특성을 UV-VIS spectrophotometer(Shimadzu Co.)를 사용하여 200~1100nm의 파장 영역에서 광 투과도를 측정하였으며 박막의 두께와 균일도는