한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2009년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.117-117
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- 2009
LTCC기판상에 성장시킨 PZT박막의 열처리 특성연구
- 이경천 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
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황현석
(서일대학) ;
- 우형관 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 이태용 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 허원영 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 심등 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 송준태 (성균관대학교 정보통신공학부)
- Lee, Gyeong-Cheon ;
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Hwang, Hyeon-Seok
;
- U, Hyeong-Gwan ;
- Lee, Tae-Yong ;
- Heo, Won-Yeong ;
- Sim, Deung ;
- Song, Jun-Tae
- 발행 : 2009.11.12
초록
Recently, low temperature co-fired ceramic (LTCC) technology has gained a remarkable application potential in sensors, actuators and microsystems fields. In this study, we investigated the effects of annealing treatment on the electrical properties of