Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2009.11a
- /
- Pages.117-117
- /
- 2009
LTCC기판상에 성장시킨 PZT박막의 열처리 특성연구
- Lee, Gyeong-Cheon ;
-
Hwang, Hyeon-Seok
;
- U, Hyeong-Gwan ;
- Lee, Tae-Yong ;
- Heo, Won-Yeong ;
- Sim, Deung ;
- Song, Jun-Tae
- 이경천 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
-
황현석
(서일대학) ;
- 우형관 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 이태용 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 허원영 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 심등 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 송준태 (성균관대학교 정보통신공학부)
- Published : 2009.11.12
Abstract
Recently, low temperature co-fired ceramic (LTCC) technology has gained a remarkable application potential in sensors, actuators and microsystems fields. In this study, we investigated the effects of annealing treatment on the electrical properties of