Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2009.05a
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- Pages.135-135
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- 2009
Effects of In concentration and substrate temperature on properties of ZIO films deposited by RF magnetron sputtering
RF 스퍼터링법에 의해 증착한 ZIO 박막의 물성에 미치는 In 함량과 기판온도의 영향
- Published : 2009.05.27
Abstract
ZIO 박막은 RF 마그네트론법으로 다양한
Keywords