Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2009.05a
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- Pages.134-134
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- 2009
Effect of Zn Concentration on Amorphous ITZO Films Deposited on Polymer Substrate Using Magnetron Co-sputtering
마그네트론 2원 동시 방전법을 이용하여 polymer 기판위에 증착한 비정질 ITZO 박막의 Zn 함량 효과
- Published : 2009.05.27
Abstract
ITZO 박막은 2개의 캐소드 (DC, RF)를 이용하여 마그네트론 2원 동시 방전법에 의해 고온에서 안정한 polyimide 기판위에 상온에서 증착하고
Keywords