Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2008.11a
- /
- Pages.145-146
- /
- 2008
Structural and electrochemical properties of the Si anode film for lithium secondary batteries
리튬 이차전지에서 Si 음극박막의 구조적, 전기화학적 특성 연구
- Published : 2008.11.19
Abstract
RF 마그네트론 스퍼터링의 파워 (
Keywords