Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Damascene 공정으로 제조된 PZT 캐패시터의 전기 특성을 고려한 세정 공정 최적화

  • 고필주 (조선대학교 전기공학과) ;
  • 전영길 (조선대학교 전기공학과) ;
  • 김남훈 (전남대학교 촉매연구소) ;
  • 이우선 (조선대학교 전기공학과)
  • Published : 2008.08.20
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