Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.08a
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- Pages.110-110
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- 2008
Al doped ZnO 박막의 원자층 증착법(ALD)
- Sin, Ung-Cheol (NCD Technology) ;
- Choe, Gyu-Jeong (NCD Technology) ;
- Jeong, Hyeon-Jun ;
- Yun, Sun-Gil
- 신웅철 ;
- 최규정 (충남대학교 재료공학과) ;
- 정현준 (충남대학교 재료공학과) ;
- 윤순길
- Published : 2008.08.20
Abstract
Keywords