Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

MOCVD와 ALD 성장법을 이용한 ZnO film 및 nanowire 성장

  • 신용호 (단국대학교 응용물리학과) ;
  • 박영환 (단국대학교 응용물리학과) ;
  • 김용민 (단국대학교 응용물리학과) ;
  • 노승정 (단국대학교 응용물리학과)
  • Published : 2008.08.20
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