Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2008.06a
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Pages.365-366
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2008
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

The Effects of FIB Scan Method On Au Etching Profile

스캔 방식에 따른 Au 집속이온빔 가공

Park, J.J. ;
Kim, S.D.

박진주 (서울테크노파크) ;
김성동 (서울산업대학교 기계설계자동화공학부)

Published : 2008.06.11

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Abstract

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