Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2008.11a
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- Pages.443-443
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- 2008
Electrical, optical, structural properties of GZO-Ag-GZO multilayer electrode
GZO-Ag-GZO 다층 투명 전극의 전기적, 광학적, 구조적 특성 연구
- Kim, Han-Ki (Kumoh National Institute of Technology) ;
- Park, Ho-Kyun (Kumoh National Institute of Technology) ;
- Choi, Kwang-Hyuk (Kumoh National Institute of Technology)
- Published : 2008.11.06
Abstract
본 연구에서는 Ga-doped ZnO(GZO)-Ag-GZO 다층 투명전극을 Dual DC magnetron sputtering system을 이용 하여 유리기판 위에 상온에서 제작하여 Ag 두께에 따른 전기적, 광학적, 구조적 특성변화를 조사하였다. Hall effect measurement와 UV/Vis spectrometer로 전기적, 광학적 특성을 분석하였으며, X-ray diffraction(XRD)와FE-SEM분석을 통해 결정성과 표면 특성을 조사하였다. FE-SEM 분석결과 island 형태에서 continuous layer로 박막의 형상이 바뀌면서 다층 투명전극의 전기적, 광학적 특성에 영향을 미치는 것을 알 수 있었다. 본 실험에서 Ag 두께 12 nm에서 가장 최적화되어 유리기판위에 상온에서 증착되었음에도 불구하고