한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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- Pages.262-263
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- 2008
High-k를 이용한 터널베리어 메모리의 절연막 특성 평가
Electrical characteristic of insulator in tunnel-harrier memory using high-k
- 오세만 (광운대학교) ;
- 정명호 (광운대학교) ;
- 박군호 (광운대학교) ;
- 김관수 (광운대학교) ;
-
조영훈
(한국기초과학지원연구원) ;
- 정종완 (세종대학교) ;
-
정홍배
(광운대학교) ;
-
조원주
(광운대학교)
- Oh, Se-Man (Kwang-woon Univ.) ;
- Jung, Myung-Ho (Kwang-woon Univ.) ;
- Park, Gun-Ho (Kwang-woon Univ.) ;
- Kim, Kwan-Su (Kwang-woon Univ.) ;
-
Jo, Young-Hun
(KBSI) ;
- Jung, Jong-Wan (Se-jong Univ.) ;
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Jung, Hong-Bea
(Kwang-woon Univ.) ;
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Cho, Won-Ju
(Kwang-woon Univ.)
- 발행 : 2008.11.06
초록
The Metal-Insulator-Silicon (MIS) capacitors with