한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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- Pages.234-234
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- 2008
저온에서 (Ba,Sr)$TiO_3$ 박막의 UV를 이용한 RTP에 관한 연구
Low temperature UV-assisted rapid thermal processing of (Ba,Sr)$TiO_3$ thin films
- Cho, Kwang-Hwan (KIST) ;
- Kang, Chong-Yun (KIST) ;
- Yoon, Seok-Jin (KIST) ;
- Lee, Young-Pak (Hanyang Univ.)
- 발행 : 2008.11.06
초록
Chemically homogeneous
키워드