Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Study of substrate temperature effect on FC(Fluorinated carbon) film using $C_4F_8$(Octafluorocyclobutane) precursor.

  • 성미린 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 이계영 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 김규채 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 이선영 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 임현우 (한양대학교 마이크로 바오오칩 센터)
  • Published : 2007.11.02
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Abstract

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