Study of substrate temperature effect on FC(Fluorinated carbon) film using $C_4F_8$ (Octafluorocyclobutane) precursor.
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 2007년도 추계학술발표대회 및
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- pp.68.1-68.1
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- 2007