Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2007.11a
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- Pages.66.1-66.1
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- 2007
HMDS 소스와 C2H2 희석기체를 이용하여 PECVD로 증착한 비정질 SiC막의 유전상수 변화
- Jo, Seong-Hyeok ;
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Choe, Du-Jin
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Kim, Tae-Song
(KIST)
- Published : 2007.11.02