Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2007.11a
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Pages.66.1-66.1
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2007

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

HMDS 소스와 C2H2 희석기체를 이용하여 PECVD로 증착한 비정질 SiC막의 유전상수 변화

조성혁 (연세대학교 신소재공학과) ;
최두진 (연세대학교 신소재공학과) ;
김태송

Published : 2007.11.02

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