Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2007.11a
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Pages.65.2-65.2
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2007

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

ALD법을 이용한 ZnO박막 성장시 증착온도에 다른 박막의 구조적 특성변화

장삼석 (고려대학교 신소재공학과) ;
허재성 (고려대학교 신소재공학과) ;
김범준 (고려대학교 신소재공학과) ;
진정근 (한국광기술원) ;
변동진 (고려대학교 신소재공학과)

Published : 2007.11.02

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Abstract

Keywords

ZnO;
ALD

우선배향성;