Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2007.11a
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- Pages.13.2-13.2
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- 2007
In-situ FT-IR diagnostics for monitoring of the aluminum chemical vapor deposition
- Park, Yeong-Jae (UST) ;
- Yang, Jae-Yeong ;
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Gang, Sang-U
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Yun, Ju-Yeong
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Seong, Dae-Jin
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Sin, Yong-Hyeon
- 박영재 ;
- 양재영 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
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강상우
(한국표준과학연구원 진공기술연구랩)
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윤주영
(한국표준과학연구원 진공기술연구랩)
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성대진
(한국표준과학연구원 진공기술연구랩)
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신용현
(한국표준과학연구원 진공기술연구랩)
- Published : 2007.11.02