Characteristics Modeling of Junction Barrier Schottky Diodes for ultra high breakdown voltage with 4H-SiC substrate

탄화규소(4H) 기판의 초고내압용 접합 장벽 쇼트키 다이오드의 특성 모델링

Devices of junction barrier schottky(JBS) structure using 4H-SiC substrates with wide energy band gaps was designed and fabricated. As a measurement results, the device of reverse I-V characteristics was shown as more than 1000 V, its design optimum length of p-grid was $3{\mu}m$ space. In this paper, I-V characteristics was modeled by using of device fabricated process conditions parameters and it was extracted that the I-V property parameters, and it was compared and analyzed with between device parameters and model parameters.

넓은 에너지 갭의 물질인 탄화규소(4H)기판을 사용하여, 초고내압을 위한 접합장벽 쇼트키 구조의 소자를 설계하여 제작하였다. 측정결과로써 소자의 역방향 I-V 특성은 1000V 이상의 항복전압을 보였고 p-grid의 설계 최적 길이는 $3{\mu}m$ 간격이였다. 이 연구에서는 제작한 소자의 공정 조건 파라미터들을 사용하여 I-V 특성을 모델링 하였고 I-V 특성 파라미터들을 추출하여 실제 소자 파라미터와 비교, 분석하였다.