PC 기판상 ITO 박막 제작시 플라즈마 처리 효과

  • 김상모 (경원대학교 전기공학과) ;
  • 임유승 (경원대학교 전기공학과) ;
  • 금민종 (플라즈마 응용 표면기술 센터) ;
  • 김경환 (경원대학교 전기공학과)
  • 발행 : 2007.08.15