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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.261-261
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
후 열처리에 따른 저유전율 SiOC(-H) 박막의 특성 연구
Jang, Yong-Jun
;
Kim, Chang-Yeong
;
Kim, Seung-Hyeon
;
Jeong, An-Su
;
Choe, Chi-Gyu
장용준
(제주대학교 물리학과) ;
김창영
(제주대학교 물리학과) ;
김승현
(제주대학교 물리학과) ;
정안수
(제주대학교 물리학과) ;
최치규
(제주대학교 물리학과)
Published : 2007.08.15
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