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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.254-254
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
Magnetron sputtering법을 이용하여 합성한 다층 카본 박막의 특성평가
Hwang, Yun-Cheol
;
Na, Jong-Ju
;
Gwon, Sik-Cheol
황윤철
(한국기계연구원 부설 재료연구소 표면기술연구센터) ;
나종주
(한국기계연구원 부설 재료연구소 표면기술연구센터) ;
권식철
(한국기계연구원 부설 재료연구소 표면기술연구센터)
Published : 2007.08.15
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