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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.253-253
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
비대칭 마그네트론 스퍼터링방법을 이용한 초미세 탄소 박막 합성
Kim, Seong-Il
;
Lee, Ho-Yeong
;
Han, Jeon-Geon
김성일
(성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
이호영
(성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 철원 플라즈마 신소재연구소) ;
한전건
(성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터)
Published : 2007.08.15
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