전구체 노출 시간을 조절하는 원자층 증착(Atomic Layer Deposition) 기술

• Sin, Ung-Cheol (NCD Technology) ;
• Ryu, Sang-Uk ;
• Seong, Nak-Jin ;
• Yun, Sun-Gil

• 신웅철 ;
• 류상욱 (단국대학교 전자공학과) ;
• 성낙진 (충남대학교 재료공학과) ;
• 윤순길 (충남대학교 재료공학과)

• Published : 2007.08.15

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