Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

HR-XRD로 측정된 $Si_{1-X}Ge_X$ 에피 박막의 조성 및 두께 결과 신뢰성 검증

  • 하민수 (하이닉스 반도체(주) 연구소 분석개발팀) ;
  • 최민기 (하이닉스 반도체(주) 연구소 분석개발팀) ;
  • 이태권 (하이닉스 반도체(주) 연구소 분석개발팀) ;
  • 박윤백 (하이닉스 반도체(주) 연구소 분석개발팀) ;
  • 이순영 (하이닉스 반도체(주) 연구소 분석개발팀)
  • Published : 2007.08.15
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Abstract

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