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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.167-167
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
증착조건에 따른 인듐 위에 증착된 hexamethyldisiloxane 박막의 특성 분석
Jo, Sang-Wan
;
Choe, Seong-Chang
;
Jo, Man-Ho
;
Jeong, Gwang-Ho
;
Hwang, Jeong-Nam
조상완
(연세대학교 물리및응용물리사업단) ;
최성창
(송도테크노파크 나노표면기술실) ;
조만호
(연세대학교 물리및응용물리사업단) ;
정광호
(연세대학교 물리및응용물리사업단) ;
황정남
(연세대학교 물리및응용물리사업단)
Published : 2007.08.15
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