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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.166-166
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
SIMS를 이용한 Si/Ge 다층박막의 조성 깊이 분포분석 연구
Jang, Jong-Sik
;
Gang, Hui-Jae
;
Kim, Gyeong-Jung
;
Hong, Tae-Eun
장종식
(충북대학교 물리학과) ;
강희재
(충북대학교 물리학과) ;
김경중
(한국표준과학연구원) ;
홍태은
(기초과학지원연구원)
Published : 2007.08.15
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