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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.136-136
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
고 농도 대역에 Pre-Sputtering 방법 적용을 통한 High Dynamic Range SIMS Depth Profiling 구현
Park, Sang-Won
;
Kim, Jong-Hun
;
Go, Jong-Gyu
;
Park, Yun-Baek
;
Lee, Sun-Yeong
박상원
(하이닉스 반도체(주) 연구소 분석개발팀) ;
김종훈
(하이닉스 반도체(주) 연구소 분석개발팀) ;
고종규
(하이닉스 반도체(주) 연구소 분석개발팀) ;
박윤백
(하이닉스 반도체(주) 연구소 분석개발팀) ;
이순영
(하이닉스 반도체(주) 연구소 분석개발팀)
Published : 2007.08.15
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