Ar 중성빔을 이용한 $HfO_2$ 원자 층 식각

• Im, Ung-Seon ;
• Park, Sang-Deok ;
• Bae, Jeong-Un ;
• Yeom, Geun-Yeong

• 임웅선 (성균관대학교 성균나노과학기술원) ;
• 박상덕 (성균관대학교 신소재공학과) ;
• 배정운 (성균관대학교 신소재공학과) ;
• 염근영 (성균관대학교 성균나노과학기술원, 성균관대학교 신소재공학과, 테라급나노소자개발사업단)

• Published : 2007.08.15

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