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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.94-94
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
Ultra Large Area 확장에 유리한 lnternal Linear Antenna를 이용하여 Microcrystalline Si licon 증착에 관한 연구
Lee, Hyeong-Cheol
;
Kim, Heung-Beom
;
Yeom, Geun-Yeong
이형철
(성균관대학교 신소재공학과) ;
김흥범
(성균관대학교 성균나노과학기술원) ;
염근영
(성균관대학교 신소재공학과, 성균관대학교 성균나노과학기술원)
Published : 2007.08.15
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