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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.93-93
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
AZO와 ZnO의 ICP를 이용한 식각특성비교
Lee, Hak-Ju
;
Jeong, Ho-Yeong
;
Kim, Du-Yeong
;
Lee, Nae-Eung
이학주
(성균관대학교 신소재공학과) ;
정호영
(성균관대학교 신소재공학과) ;
김두영
(성균관대학교 신소재공학과) ;
이내응
(성균관대학교 신소재공학과)
Published : 2007.08.15
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